1. ნაყარი გაზის სისტემის განმარტება:
ინერტული აირების შენახვა და წნევის კონტროლი. აირების ტიპები: ტიპიური ინერტული აირებისთვის (აზოტი, არგონი, შეკუმშული ჰაერი და ა.შ.).
მილსადენის ზომა: 1/4-დან (მონიტორინგის მილსადენი) 12 დიუმიან მთავარ მილსადენამდე
სისტემის ძირითადი პროდუქტებია: დიაფრაგმის სარქველი/ბელვისებური სარქველი/სფერული სარქველი, მაღალი სისუფთავის შემაერთებელი (ვიდეომაგნიტოფონი, შედუღების ფორმა), ფერულის შემაერთებელი, წნევის მარეგულირებელი სარქველი, წნევის საზომი და ა.შ.
ამჟამად, ახალი სისტემა ასევე მოიცავს ნაყარი სპეციალური გაზის სისტემას, რომელიც შენახვისა და ტრანსპორტირებისთვის იყენებს ფიქსირებულ გაზის ცილინდრებს ან ავტოცისტერნებს.
2. გამწმენდი სისტემის განმარტება:
მაღალი სისუფთავის გაზსადენებისთვის ნაყარი გაზებიდან მინარევების მოცილება
3. გაზის კარადების განმარტება:
უზრუნველყოს წნევის კონტროლი და ნაკადის მონიტორინგი სპეციალური გაზის წყაროებისთვის (ტოქსიკური, აალებადი, რეაქტიული, კოროზიული გაზები) და ჰქონდეს გაზის ცილინდრების შეცვლის შესაძლებლობა.
ადგილმდებარეობა: განთავსებულია ქარხნის ქვედა სართულზე ან ქვედა სართულზე სპეციალური აირების შესანახად. წყარო: NF3, SF6, WF6 და ა.შ.
მილსადენის ზომა: შიდა გაზსადენი, როგორც წესი, 1/4 ინჩი (1/4 ინჩი) ტექნოლოგიური მილსადენისთვის, 1/4-3/8 ინჩი (ძირითადად მაღალი სისუფთავის აზოტით გამწმენდი მილსადენისთვის).
ძირითადი პროდუქტები: მაღალი სისუფთავის დიაფრაგმის სარქველები, საკონტროლო სარქველები, წნევის საზომები, წნევის საზომები, მაღალი სისუფთავის შემაერთებლები (ვიდეომაგნიტოფონი, შედუღების ფორმა). ეს გაზის კარადები ძირითადად შეიცავს ცილინდრების ავტომატური გადართვის შესაძლებლობებს, რათა უზრუნველყოფილი იყოს გაზის უწყვეტი მიწოდება და ცილინდრების უსაფრთხო ჩანაცვლება.
4. განაწილების განმარტება:
გაზის წყაროს შეერთება გაზის შემგროვებელ კოჭასთან
ხაზის ზომა: ჩიპების ქარხანაში, ნაყარი გაზგამანაწილებელი მილსადენის ზომა, როგორც წესი, 1/2 ინჩიდან 2 ინჩამდე მერყეობს.
შეერთების ფორმა: სპეციალური გაზსადენები, როგორც წესი, შედუღებით არის დაკავშირებული, ყოველგვარი მექანიკური შეერთების ან სხვა მოძრავი ნაწილების გარეშე, ძირითადად იმიტომ, რომ შედუღების შეერთებას აქვს ძლიერი დალუქვის საიმედოობა.
ჩიპების ქარხანაში გაზის გადასაცემად ასობით კილომეტრი სიგრძის მილებია შეერთებული, რომლებიც ძირითადად დაახლოებით 20 ფუტის სიგრძისაა და ერთმანეთთან შედუღებულია. ასევე ძალიან გავრცელებულია მილების ზოგიერთი მოსახვევი და მილისებური შედუღების შეერთება.
5. მრავალფუნქციური სარქვლის ყუთი (Valve Manifold Box, VMB) განმარტება:
ეს არის სპეციალური აირების განაწილება გაზის წყაროდან სხვადასხვა აღჭურვილობის ბოლოებამდე.
შიდა მილსადენის ზომა: 1/4 ინჩიანი დამუშავების მილი და 1/4 - 3/8 ინჩიანი გამწმენდი მილი. სისტემამ შეიძლება გამოიყენოს კომპიუტერული კონტროლი, რათა მოითხოვოს ამოქმედებული სარქველები ან უფრო დაბალი ღირებულების სიტუაციები ხელით სარქველებით.
სისტემური პროდუქტები: მაღალი სისუფთავის დიაფრაგმული სარქველები/ბალვოვის სარქველები, საკონტროლო სარქველები, მაღალი სისუფთავის შეერთებები (ვიდეომაგნიტოფონი, მიკროშედუღების ფორმა), წნევის მარეგულირებელი სარქველები, წნევის საზომები და წნევის მანომეტრები და ა.შ. ზოგიერთი ინერტული აირების განაწილებისთვის ძირითადად გამოიყენება სარქვლის მანიფოლდის პანელი - VMP (მრავალფუნქციური სარქვლის დისკი), რომელსაც აქვს ღია გაზის დისკის ზედაპირი და არ საჭიროებს დახურულ სივრცის დიზაინს და დამატებით აზოტის გამოდევნას.
6. მეორადი სარქვლის ფირფიტა/ყუთი (ინსტრუმენტის შეერთების პანელი) განმარტება:
ნახევარგამტარული აღჭურვილობისთვის საჭირო გაზი შეაერთეთ გაზის წყაროდან აღჭურვილობის ბოლომდე და უზრუნველყავით შესაბამისი წნევის რეგულირება. ეს პანელი არის გაზის კონტროლის სისტემა, რომელიც აღჭურვილობის ბოლოსთან უფრო ახლოსაა, ვიდრე VMB (მრავალფუნქციური სარქვლის ყუთი).
გაზსადენის ზომა: 1/4 - 3/8 ინჩი
სითხის მილსადენის ზომა: 1/2 - 1 ინჩი
გამშვები მილსადენის ზომა: 1/2 - 1 ინჩი
ძირითადი პროდუქტები: დიაფრაგმის სარქველი/ბალვის სარქველი, ცალმხრივი სარქველი, წნევის მარეგულირებელი სარქველი, წნევის საზომი, წნევის საზომი, მაღალი სისუფთავის შეერთება (ვიდეომაგნიტოფონი, მიკროშედუღება), ფერულის შეერთება, ბურთულიანი სარქველი, შლანგი და ა.შ.
გამოქვეყნების დრო: 2024 წლის 22 ნოემბერი