მაღალი სისუფთავის გაზსადენების გამოყენება ელექტრონულ საინჟინრო სისტემებში

909 Project Very Large Scale Integrated Circuit Factory არის ჩემი ქვეყნის ელექტრონიკის ინდუსტრიის მთავარი სამშენებლო პროექტი მეცხრე ხუთწლიანი გეგმის განმავლობაში, რათა აწარმოოს ჩიპები ხაზის სიგანე 0,18 მიკრონი და დიამეტრი 200 მმ.

ძალიან ფართომასშტაბიანი ინტეგრირებული სქემების წარმოების ტექნოლოგია არა მხოლოდ მოიცავს მაღალი სიზუსტის ტექნოლოგიებს, როგორიცაა მიკრო-დამუშავება, არამედ აყენებს მაღალ მოთხოვნებს გაზის სისუფთავეზე.
პროექტ 909-ის ძირითადი გაზის მიწოდება უზრუნველყოფილია შეერთებული შტატების Praxair Utility Gas Co., Ltd.-სა და შანხაიში შესაბამის მხარეებს შორის, რათა ერთობლივად დააარსონ გაზის წარმოების ქარხანა. გაზის წარმოების ქარხანა არის 909 პროექტის ქარხნის მიმდებარედ. შენობა, რომელიც მოიცავს დაახლოებით 15000 კვადრატულ მეტრ ფართობს. სხვადასხვა გაზების სისუფთავე და გამომავალი მოთხოვნები

ჰაერის გამოყოფით წარმოიქმნება მაღალი სისუფთავის აზოტი (PN2), აზოტი (N2) და მაღალი სისუფთავის ჟანგბადი (PO2). მაღალი სისუფთავის წყალბადი (PH2) წარმოიქმნება ელექტროლიზით. არგონი (Ar) და ჰელიუმი (He) შეძენილია აუთსორსსით. კვაზი-გაზი იწმინდება და იფილტრება პროექტ 909-ში გამოსაყენებლად. სპეციალური გაზი მიეწოდება ბოთლებში, ხოლო გაზის ბოთლის კარადა განთავსებულია ინტეგრირებული მიკროსქემის წარმოების ქარხნის დამხმარე საამქროში.
სხვა აირებს ასევე მიეკუთვნება სუფთა მშრალი შეკუმშული ჰაერის CDA სისტემა, გამოყენების მოცულობით 4185 მ3/სთ, წნევის ნამის წერტილი -70°C და ნაწილაკების ზომა არაუმეტეს 0,01 მმ აირში გამოყენების ადგილზე. შეკუმშული ჰაერის ჩასუნთქვის სისტემა (BA), გამოყენების მოცულობა 90 მ3/სთ, წნევის ნამის წერტილი 2℃, ნაწილაკების ზომა გაზში გამოყენების ადგილას არ არის 0.3 მმ-ზე მეტი, პროცესის ვაკუუმის (PV) სისტემა, გამოყენების მოცულობა 582 მ3/სთ, ვაკუუმის ხარისხი გამოყენების ადგილზე -79993Pa. დასუფთავების ვაკუუმი (HV) სისტემა, გამოყენების მოცულობა 1440 მ3/სთ, ვაკუუმის ხარისხი გამოყენების წერტილში -59995 Pa. ჰაერის კომპრესორის ოთახი და ვაკუუმ-ტუმბო ოთახი განლაგებულია 909 პროექტის ქარხნის ტერიტორიაზე.

მილების მასალების და აქსესუარების შერჩევა
VLSI წარმოებაში გამოყენებულ გაზს აქვს უკიდურესად მაღალი სისუფთავის მოთხოვნები.მაღალი სისუფთავის გაზსადენებიჩვეულებრივ გამოიყენება სუფთა წარმოების გარემოში და მათი სისუფთავის კონტროლი უნდა შეესაბამებოდეს ან უფრო მაღალი იყოს გამოყენებული სივრცის სისუფთავის დონეს! გარდა ამისა, მაღალი სისუფთავის გაზსადენები ხშირად გამოიყენება სუფთა წარმოების გარემოში. სუფთა წყალბადი (PH2), მაღალი სისუფთავის ჟანგბადი (PO2) და ზოგიერთი სპეციალური აირი არის აალებადი, ფეთქებადი, წვის დამხმარე ან ტოქსიკური აირები. თუ გაზსადენის სისტემა არასწორად არის დაპროექტებული ან მასალები არასწორად არის შერჩეული, არა მხოლოდ შემცირდება გაზის წერტილში გამოყენებული გაზის სისუფთავე, არამედ ის ასევე ფუჭდება. ის აკმაყოფილებს პროცესის მოთხოვნებს, მაგრამ მისი გამოყენება სახიფათოა და გამოიწვევს სუფთა ქარხნის დაბინძურებას, რაც გავლენას მოახდენს სუფთა ქარხნის უსაფრთხოებასა და სისუფთავეზე.
გამოყენების ადგილზე მაღალი სისუფთავის გაზის ხარისხის გარანტია არა მხოლოდ დამოკიდებულია გაზის წარმოების სიზუსტეზე, გამწმენდ აღჭურვილობასა და ფილტრებზე, არამედ დიდ გავლენას ახდენს მილსადენის სისტემაში არსებული მრავალი ფაქტორი. თუ ჩვენ ვეყრდნობით გაზის წარმოების მოწყობილობას, გამწმენდ მოწყობილობებსა და ფილტრებს, უბრალოდ არასწორია უსაზღვროდ მაღალი სიზუსტის მოთხოვნების დაწესება გაზსადენის სისტემის არასწორი დიზაინის ან მასალის შერჩევის კომპენსაციისთვის.
909 პროექტის საპროექტო პროცესის დროს ჩვენ მივყვებით „სუფთა მცენარეთა დიზაინის კოდს“ GBJ73-84 (დღევანდელი სტანდარტი არის (GB50073-2001)), „შეკუმშული ჰაერის სადგურების დიზაინის კოდი“ GBJ29-90, „კოდი ჟანგბადის სადგურების დიზაინისთვის“ GB50030-91 , „წყალბადის და ჟანგბადის დიზაინის კოდი“ სადგურები“ GB50177-93 და შესაბამისი ტექნიკური ღონისძიებები მილსადენის მასალებისა და აქსესუარების შერჩევის მიზნით. „სუფთა ქარხნების დიზაინის კოდექსი“ ითვალისწინებს მილსადენის მასალებისა და სარქველების შერჩევას შემდეგნაირად:

(1) თუ გაზის სისუფთავე მეტია ან ტოლია 99,999%-ზე და ნამის წერტილი დაბალია -76°C-ზე, 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალი ნახშირბადის უჟანგავი ფოლადის მილი (316L) ელექტროგაპრიალებული შიდა კედლით ან OCr18Ni9 უჟანგავი ფოლადის მილით (304) უნდა იქნას გამოყენებული ელექტროგაპრიალებული შიდა კედელი. სარქველი უნდა იყოს დიაფრაგმის სარქველი ან სარქველი.

(2) თუ გაზის სისუფთავე მეტია ან ტოლია 99,99%-ისა და ნამის წერტილი დაბალია -60°C-ზე, უნდა იქნას გამოყენებული OCr18Ni9 უჟანგავი ფოლადის მილი (304) ელექტროგაპრიალებული შიდა კედლით. გარდა ბალიშის სარქველებისა, რომლებიც გამოყენებული უნდა იყოს აალებადი გაზსადენებისთვის, ბურთულიანი სარქველები უნდა იყოს გამოყენებული სხვა გაზსადენებისთვის.

(3) თუ მშრალი შეკუმშული ჰაერის ნამის წერტილი -70°C-ზე დაბალია, უნდა იქნას გამოყენებული OCr18Ni9 უჟანგავი ფოლადის მილი (304) გაპრიალებული შიდა კედლით. თუ ნამის წერტილი დაბალია -40℃-ზე, უნდა იქნას გამოყენებული OCr18Ni9 უჟანგავი ფოლადის მილი (304) ან ცხელი გალვანზირებული ფოლადის მილი. სარქველი უნდა იყოს სარქველი ან ბურთულიანი სარქველი.

(4) სარქვლის მასალა უნდა იყოს თავსებადი დამაკავშირებელი მილის მასალასთან.

სპეციფიკაციების მოთხოვნებისა და შესაბამისი ტექნიკური ზომების მიხედვით, მილსადენის მასალების შერჩევისას ძირითადად განვიხილავთ შემდეგ ასპექტებს:

(1) მილის მასალების ჰაერგამტარობა უნდა იყოს მცირე. სხვადასხვა მასალის მილებს აქვთ ჰაერის განსხვავებული გამტარიანობა. თუ არჩეულია ჰაერის უფრო დიდი გამტარიანობის მილები, დაბინძურების მოცილება შეუძლებელია. უჟანგავი ფოლადის და სპილენძის მილები უკეთესად აფერხებენ ატმოსფეროში ჟანგბადის შეღწევას და კოროზიას. თუმცა, იმის გამო, რომ უჟანგავი ფოლადის მილები ნაკლებად აქტიურია ვიდრე სპილენძის მილები, სპილენძის მილები უფრო აქტიურია და საშუალებას აძლევს ატმოსფეროში ტენიანობას შეაღწიოს მათ შიდა ზედაპირებში. ამიტომ, მაღალი სისუფთავის გაზსადენებისთვის მილების შერჩევისას, უჟანგავი ფოლადის მილები უნდა იყოს პირველი არჩევანი.

(2) მილის მასალის შიდა ზედაპირი ადსორბირებულია და მცირე გავლენას ახდენს გაზის ანალიზზე. უჟანგავი ფოლადის მილის დამუშავების შემდეგ, გარკვეული რაოდენობის გაზი დარჩება მის ლითონის გისოსში. როდესაც მაღალი სისუფთავის გაზი გადის, გაზის ეს ნაწილი შედის ჰაერის ნაკადში და გამოიწვევს დაბინძურებას. ამავდროულად, ადსორბციისა და ანალიზის გამო, მილის შიდა ზედაპირზე ლითონი ასევე გამოიმუშავებს გარკვეული რაოდენობის ფხვნილს, რაც იწვევს მაღალი სისუფთავის გაზის დაბინძურებას. მილსადენის სისტემებისთვის, რომელთა სისუფთავე 99,999% ან ppb დონეს აღემატება, უნდა იქნას გამოყენებული 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალი ნახშირბადის უჟანგავი ფოლადის მილი (316ლ).

(3) უჟანგავი ფოლადის მილების აცვიათ წინააღმდეგობა უკეთესია, ვიდრე სპილენძის მილები, ხოლო ჰაერის ნაკადის ეროზიით წარმოქმნილი ლითონის მტვერი შედარებით ნაკლებია. სისუფთავის უფრო მაღალი მოთხოვნების მქონე საწარმოო საამქროებს შეუძლიათ გამოიყენონ 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალი ნახშირბადის უჟანგავი ფოლადის მილები (316L) ან OCr18Ni9 უჟანგავი ფოლადის მილები (304), სპილენძის მილები არ უნდა იქნას გამოყენებული.

(4) მილსადენის სისტემებისთვის გაზის სისუფთავით 99,999% ან ppb ან ppt დონეზე, ან სუფთა ოთახებში ჰაერის სისუფთავის დონეებით N1-N6, რომლებიც მითითებულია „სუფთა ქარხნის დიზაინის კოდექსში“, ულტრასუფთა მილები ანEP ულტრა სუფთა მილებიუნდა იქნას გამოყენებული. გაასუფთავეთ „სუფთა მილი ულტრა გლუვი შიდა ზედაპირით“.

(5) ზოგიერთი სპეციალური გაზსადენის სისტემა, რომელიც გამოიყენება წარმოების პროცესში, არის ძალიან კოროზიული აირები. მილსადენების ამ სისტემებში მილები უნდა გამოიყენონ კოროზიისადმი მდგრადი უჟანგავი ფოლადის მილები, როგორც მილები. წინააღმდეგ შემთხვევაში, მილები დაზიანდება კოროზიის გამო. თუ ზედაპირზე ჩნდება კოროზიული ლაქები, არ უნდა იქნას გამოყენებული ჩვეულებრივი უჟანგავი ფოლადის მილები ან გალვანზირებული შედუღებული ფოლადის მილები.

(6) პრინციპში, გაზსადენის ყველა კავშირი უნდა იყოს შედუღებული. ვინაიდან გალვანზირებული ფოლადის მილების შედუღება გაანადგურებს გალვანურ ფენას, გალვანური ფოლადის მილები არ გამოიყენება სუფთა ოთახებში მილებისთვის.

ზემოაღნიშნული ფაქტორების გათვალისწინებით, &7& პროექტში შერჩეული გაზსადენის მილები და სარქველები შემდეგია:

მაღალი სისუფთავის აზოტის (PN2) სისტემის მილები დამზადებულია 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალნახშირბადიანი უჟანგავი ფოლადის მილებით (316ლ) ელექტროგაპრიალებული შიდა კედლებით, ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალის უჟანგავი ფოლადის ბუხრით.
აზოტის (N2) სისტემის მილები დამზადებულია 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალნახშირბადოვანი უჟანგავი ფოლადის მილებით (316ლ) ელექტროგაპრიალებული შიდა კედლებით, ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალის უჟანგავი ფოლადის ღვეზელი სარქველებისგან.
მაღალი სისუფთავის წყალბადის (PH2) სისტემის მილები დამზადებულია 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალნახშირბადიანი უჟანგავი ფოლადის მილებისაგან (316ლ) ელექტროგაპრიალებული შიდა კედლებით, ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალის უჟანგავი ფოლადის ღვეზელი სარქველებისაგან.
მაღალი სისუფთავის ჟანგბადის (PO2) სისტემის მილები დამზადებულია 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალნახშირბადიანი უჟანგავი ფოლადის მილებით (316ლ) ელექტროგაპრიალებული შიდა კედლებით, ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალის უჟანგავი ფოლადის ღვეზელი სარქველებისაგან.
არგონის (Ar) სისტემის მილები დამზადებულია 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალნახშირბადიანი უჟანგავი ფოლადის მილებით (316ლ) ელექტროგაპრიალებული შიდა კედლებით და გამოყენებულია იმავე მასალის უჟანგავი ფოლადის ღვეზელი სარქველები.
ჰელიუმის (He) სისტემის მილები დამზადებულია 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალნახშირბადოვანი უჟანგავი ფოლადის მილებისაგან (316ლ) ელექტროგაპრიალებული შიდა კედლებით, ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალის უჟანგავი ფოლადის საღეჭი სარქველებისაგან.
სუფთა მშრალი შეკუმშული ჰაერის (CDA) სისტემის მილები დამზადებულია OCr18Ni9 უჟანგავი ფოლადის მილებით (304) გაპრიალებული შიდა კედლებით, ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალის უჟანგავი ფოლადის ღვეზელი სარქველებისგან.
სასუნთქი შეკუმშული ჰაერის (BA) სისტემის მილები დამზადებულია OCr18Ni9 უჟანგავი ფოლადის მილებით (304) გაპრიალებული შიდა კედლებით, ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალის უჟანგავი ფოლადის ბურთიანი სარქველებისგან.
პროცესის ვაკუუმის (PV) სისტემის მილები დამზადებულია UPVC მილებიდან, ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალისგან დამზადებული ვაკუუმური პეპლის სარქველებისაგან.
გამწმენდი ვაკუუმის (HV) სისტემის მილები დამზადებულია UPVC მილებით, ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალისგან დამზადებული ვაკუუმური პეპლის სარქველებისაგან.
სპეციალური გაზის სისტემის მილები ყველა დამზადებულია 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალნახშირბადოვანი უჟანგავი ფოლადის მილებით (316ლ) ელექტროგაპრიალებული შიდა კედლებით, ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალის უჟანგავი ფოლადის ბუხრით.

3 მილსადენების მშენებლობა და მონტაჟი
3.1 „სუფთა ქარხნის შენობის საპროექტო კოდექსის“ 8.3 პუნქტი განსაზღვრავს შემდეგ დებულებებს მილსადენის შეერთებისთვის:
(1) მილების შეერთებები უნდა იყოს შედუღებული, მაგრამ ცხელი გალვანზირებული ფოლადის მილები უნდა იყოს ხრახნიანი. ხრახნიანი შეერთებების დალუქვის მასალა უნდა შეესაბამებოდეს ამ სპეციფიკაციის 8.3.3 მუხლის მოთხოვნებს.
(2) უჟანგავი ფოლადის მილები უნდა იყოს დაკავშირებული არგონის რკალით და კონდახით შედუღებით ან ბუდეებით, მაგრამ მაღალი სისუფთავის გაზსადენები უნდა იყოს დაკავშირებული კონდახით შედუღებით შიდა კედელზე ნიშნების გარეშე.
(3) მილსადენებსა და აღჭურვილობას შორის კავშირი უნდა შეესაბამებოდეს აღჭურვილობის შეერთების მოთხოვნებს. შლანგის შეერთების გამოყენებისას გამოყენებული უნდა იყოს ლითონის შლანგები
(4) მილსადენებსა და სარქველებს შორის კავშირი უნდა შეესაბამებოდეს შემდეგ რეგულაციებს

① მაღალი სისუფთავის გაზსადენებისა და სარქველების დამაკავშირებელი დალუქვის მასალა უნდა გამოიყენოს ლითონის შუასადებები ან ორმაგი ბორბლები წარმოების პროცესისა და გაზის მახასიათებლების მოთხოვნების შესაბამისად.
② ხრახნიანი ან ფლანგური კავშირის დალუქვის მასალა უნდა იყოს პოლიტეტრაფტორეთილენი.
3.2 სპეციფიკაციების მოთხოვნებისა და შესაბამისი ტექნიკური ღონისძიებების მიხედვით, მაღალი სისუფთავის გაზსადენების შეერთება მაქსიმალურად უნდა იყოს შედუღებული. შედუღების დროს თავიდან უნდა იქნას აცილებული პირდაპირი კონდახის შედუღება. უნდა იქნას გამოყენებული მილის sleeves ან დასრულებული სახსრების. მილის სამაჯურები უნდა იყოს დამზადებული იმავე მასალისა და შიდა ზედაპირის სიგლუვისგან, როგორც მილები. დონეზე, შედუღების დროს, შედუღების ნაწილის დაჟანგვის თავიდან ასაცილებლად, შედუღების მილში უნდა შევიდეს სუფთა დამცავი გაზი. უჟანგავი ფოლადის მილებისთვის გამოყენებული უნდა იყოს არგონის რკალის შედუღება და იმავე სისუფთავის არგონის გაზი უნდა შევიდეს მილში. უნდა იყოს გამოყენებული ხრახნიანი კავშირი ან ხრახნიანი კავშირი. მილტუჩების შეერთებისას, ბოჭკოები უნდა იყოს გამოყენებული ხრახნიანი შეერთებისთვის. გარდა ჟანგბადის მილებისა და წყალბადის მილებისა, რომლებშიც უნდა იყოს გამოყენებული ლითონის შუასადებები, სხვა მილებში უნდა იყოს გამოყენებული პოლიტეტრაფტორეთილენის შუასადებები. ასევე ეფექტური იქნება შუასადებების მცირე რაოდენობით სილიკონის რეზინის წასმა. აძლიერებს დალუქვის ეფექტს. მსგავსი ზომები უნდა იქნას მიღებული ფლანგური შეერთების დროს.
სამონტაჟო სამუშაოების დაწყებამდე მილების დეტალური ვიზუალური შემოწმება,ფიტინგები, სარქველები და ა.შ. ჩვეულებრივი უჟანგავი ფოლადის მილების შიდა კედელი ინსტალაციამდე უნდა იყოს მწნილი. ჟანგბადის მილსადენების მილები, ფიტინგები, სარქველები და ა.შ. კატეგორიულად უნდა იყოს აკრძალული ნავთობისგან და ინსტალაციამდე უნდა იყოს მკაცრად გაწმენდილი შესაბამისი მოთხოვნების შესაბამისად.
სისტემის დამონტაჟებამდე და გამოყენებამდე, გადამცემი და გამანაწილებელი მილსადენის სისტემა მთლიანად უნდა გაიწმინდოს მიწოდებული მაღალი სისუფთავის გაზით. ეს არა მხოლოდ აფრქვევს მტვრის ნაწილაკებს, რომლებიც შემთხვევით ჩავარდა სისტემაში ინსტალაციის პროცესში, არამედ ასრულებს საშრობ როლს მილსადენის სისტემაში, შლის ტენიანობის შემცველი გაზის ნაწილს, რომელიც შეიწოვება მილის კედელში და მილის მასალასაც კი.

4. მილსადენის წნევის ტესტი და მიღება
(1) სისტემის დამონტაჟების შემდეგ უნდა ჩატარდეს სპეციალურ გაზსადენებში მაღალტოქსიკური სითხეების გადამტანი მილების 100%-იანი რენტგენოგრაფიული შემოწმება და მათი ხარისხი არ უნდა იყოს II დონეზე დაბალი. სხვა მილები ექვემდებარება სინჯების რენტგენოგრაფიულ შემოწმებას, ხოლო სინჯის შემოწმების კოეფიციენტი არ უნდა იყოს 5%-ზე ნაკლები, ხარისხი არ უნდა იყოს დაბალი ვიდრე III ხარისხი.
(2) არადესტრუქციული შემოწმების გავლის შემდეგ უნდა ჩატარდეს წნევის ტესტი. მილსადენის სისტემის სიმშრალისა და სისუფთავის უზრუნველსაყოფად, არ უნდა ჩატარდეს ჰიდრავლიკური წნევის ტესტი, არამედ უნდა იქნას გამოყენებული პნევმატური წნევის ტესტი. ჰაერის წნევის ტესტი უნდა ჩატარდეს აზოტის ან შეკუმშული ჰაერის გამოყენებით, რომელიც შეესაბამება სუფთა ოთახის სისუფთავის დონეს. მილსადენის ტესტის წნევა უნდა იყოს 1,15-ჯერ მეტი საპროექტო წნევაზე, ხოლო ვაკუუმური მილსადენის ტესტის წნევა უნდა იყოს 0,2 მპა. ტესტის დროს წნევა თანდათან და ნელა უნდა გაიზარდოს. როდესაც წნევა სატესტო წნევის 50%-მდე მოიმატებს, თუ არ არის რაიმე დარღვევა ან გაჟონვა, განაგრძეთ წნევის ეტაპობრივად გაზრდა ტესტის წნევის 10%-ით და დაასტაბილურეთ წნევა 3 წუთის განმავლობაში თითოეულ დონეზე ტესტის წნევამდე. . დაასტაბილურეთ წნევა 10 წუთის განმავლობაში, შემდეგ შეამცირეთ წნევა დიზაინის წნევამდე. წნევის გაჩერების დრო უნდა განისაზღვროს გაჟონვის გამოვლენის საჭიროებების მიხედვით. ქაფის აგენტი კვალიფიცირდება, თუ არ არის გაჟონვა.
(3) მას შემდეგ, რაც ვაკუუმის სისტემა გაივლის წნევის ტესტს, მან ასევე უნდა ჩაატაროს 24-საათიანი ვაკუუმის ხარისხის ტესტი საპროექტო დოკუმენტების მიხედვით და წნევის მაჩვენებელი არ უნდა იყოს 5%-ზე მეტი.
(4) გაჟონვის ტესტი. ppb და ppt კლასის მილსადენის სისტემებისთვის, შესაბამისი სპეციფიკაციების მიხედვით, გაჟონვა არ უნდა ჩაითვალოს კვალიფიცირებულად, მაგრამ დიზაინის დროს გამოიყენება გაჟონვის რაოდენობის ტესტი, ანუ გაჟონვის რაოდენობის ტესტი ტარდება ჰაერგამტარობის ტესტის შემდეგ. წნევა არის სამუშაო წნევა და წნევა ჩერდება 24 საათის განმავლობაში. საშუალო საათობრივი გაჟონვა არის 50ppm-ზე ნაკლები ან ტოლი, როგორც კვალიფიციური. გაჟონვის გაანგარიშება შემდეგია:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/ტ
ფორმულაში:
ერთსაათიანი გაჟონვა (%)
P1 - აბსოლუტური წნევა ტესტის დასაწყისში (Pa)
P2 - აბსოლუტური წნევა ტესტის ბოლოს (Pa)
T1 - აბსოლუტური ტემპერატურა ტესტის დასაწყისში (K)
T2 - აბსოლუტური ტემპერატურა ტესტის ბოლოს (K)