მაღალი სისუფთავის გაზსადენების გამოყენება ელექტრონულ საინჟინრო სისტემებში

909 პროექტის ძალიან დიდი მასშტაბის ინტეგრირებული სქემების ქარხანა ჩემი ქვეყნის ელექტრონიკის ინდუსტრიის მსხვილი სამშენებლო პროექტია მეცხრე ხუთწლიანი გეგმის ფარგლებში, რომელიც მიზნად ისახავს 0.18 მიკრონი ხაზის სიგანისა და 200 მმ დიამეტრის მქონე ჩიპების წარმოებას.

ძალიან მასშტაბური ინტეგრირებული სქემების წარმოების ტექნოლოგია არა მხოლოდ მაღალი სიზუსტის ტექნოლოგიებს მოიცავს, როგორიცაა მიკროდამუშავება, არამედ მაღალ მოთხოვნებსაც აწესებს გაზის სისუფთავეზე.
909-ე პროექტისთვის გაზის საბითუმო მიწოდებას უზრუნველყოფს ამერიკის შეერთებული შტატების „პრაქსაირ უტილიტის გაზ კო., შპს“-სა და შანხაიში არსებულ შესაბამის მხარეებს შორის ერთობლივი საწარმო, რომელიც გაზის წარმოების ქარხნის ერთობლივად შექმნას ისახავს მიზნად. გაზის წარმოების ქარხანა 909-ე პროექტის ქარხნის შენობის მიმდებარედ მდებარეობს და დაახლოებით 15,000 კვადრატული მეტრის ფართობს მოიცავს. სხვადასხვა აირების სისუფთავისა და გამომავალი მოცულობის მოთხოვნები

მაღალი სისუფთავის აზოტი (PN2), აზოტი (N2) და მაღალი სისუფთავის ჟანგბადი (PO2) მიიღება ჰაერის გამოყოფით. მაღალი სისუფთავის წყალბადი (PH2) მიიღება ელექტროლიზით. არგონი (Ar) და ჰელიუმი (He) შეძენილია გარე წყაროებიდან. კვაზი-გაზი იწმინდება და იფილტრება პროექტ 909-ში გამოსაყენებლად. სპეციალური გაზი მიეწოდება ბოთლებში, ხოლო გაზის ბოთლების კარადა განთავსებულია ინტეგრირებული წრედების წარმოების ქარხნის დამხმარე სახელოსნოში.
სხვა აირები ასევე მოიცავს სუფთა, მშრალი შეკუმშული ჰაერის CDA სისტემას, გამოყენების მოცულობით 4185 მ3/სთ, წნევის ნამის წერტილით -70°C და ნაწილაკების ზომით არაუმეტეს 0.01 მიკრონი გაზში გამოყენების წერტილში. სუნთქვის შეკუმშული ჰაერის (BA) სისტემა, გამოყენების მოცულობა 90 მ3/სთ, წნევის ნამის წერტილი 2℃, გაზში ნაწილაკების ზომა გამოყენების წერტილში არ აღემატება 0.3 მიკრონ, პროცესის ვაკუუმის (PV) სისტემა, გამოყენების მოცულობა 582 მ3/სთ, ვაკუუმის ხარისხი გამოყენების წერტილში -79993Pa. გამწმენდი ვაკუუმის (HV) სისტემა, გამოყენების მოცულობა 1440 მ3/სთ, ვაკუუმის ხარისხი გამოყენების წერტილში -59995 Pa. ჰაერის კომპრესორის ოთახი და ვაკუუმური ტუმბოს ოთახი ორივე მდებარეობს 909 პროექტის ქარხნის ტერიტორიაზე.

მილების მასალებისა და აქსესუარების შერჩევა
VLSI წარმოებაში გამოყენებულ გაზს უკიდურესად მაღალი სისუფთავის მოთხოვნები აქვს.მაღალი სისუფთავის გაზსადენებიროგორც წესი, გამოიყენება სუფთა წარმოების გარემოში და მათი სისუფთავის კონტროლი უნდა შეესაბამებოდეს ან უფრო მაღალი იყოს, ვიდრე გამოყენებული სივრცის სისუფთავის დონე! გარდა ამისა, მაღალი სისუფთავის გაზსადენები ხშირად გამოიყენება სუფთა წარმოების გარემოში. სუფთა წყალბადი (PH2), მაღალი სისუფთავის ჟანგბადი (PO2) და ზოგიერთი სპეციალური აირი არის აალებადი, ასაფეთქებელი, წვის დამხმარე ან ტოქსიკური აირები. თუ გაზსადენის სისტემა არასწორად არის დაპროექტებული ან მასალები არასწორად არის შერჩეული, გაზგამტარ პუნქტში გამოყენებული აირის სისუფთავე არა მხოლოდ შემცირდება, არამედ ის ასევე გაფუჭდება. ის აკმაყოფილებს პროცესის მოთხოვნებს, მაგრამ მისი გამოყენება უსაფრთხო არ არის და გამოიწვევს სუფთა ქარხნის დაბინძურებას, რაც გავლენას ახდენს სუფთა ქარხნის უსაფრთხოებასა და სისუფთავეზე.
მაღალი სისუფთავის გაზის ხარისხის გარანტია გამოყენების წერტილში არა მხოლოდ გაზის წარმოების, გამწმენდი აღჭურვილობისა და ფილტრების სიზუსტეზეა დამოკიდებული, არამედ დიდწილად მასზე გავლენას ახდენს მილსადენის სისტემაში არსებული მრავალი ფაქტორი. თუ გაზის წარმოების აღჭურვილობას, გამწმენდ აღჭურვილობასა და ფილტრებს დავეყრდნობით, უბრალოდ არასწორია უსასრულოდ მაღალი სიზუსტის მოთხოვნების დაწესება გაზსადენის სისტემის არასწორი დიზაინის ან მასალის შერჩევის კომპენსაციის მიზნით.
909 პროექტის პროექტირების პროცესში ჩვენ ვიხელმძღვანელეთ „სუფთა ქარხნების პროექტირების კოდექსით“ GBJ73-84 (მიმდინარე სტანდარტია (GB50073-2001)), „შეკუმშული ჰაერის სადგურების პროექტირების კოდექსით“ GBJ29-90, „ჟანგბადის სადგურების პროექტირების კოდექსით“ GB50030-91, „წყალბადის და ჟანგბადის სადგურების პროექტირების კოდექსით“ GB50177-93 და მილსადენის მასალებისა და აქსესუარების შერჩევის შესაბამისი ტექნიკური ზომებით. „სუფთა ქარხნების პროექტირების კოდექსით“ მილსადენის მასალებისა და სარქველების შერჩევა შემდეგნაირად არის განსაზღვრული:

(1) თუ გაზის სისუფთავე 99.999%-ზე მეტი ან ტოლია და ნამის წერტილი -76°C-ზე დაბალია, უნდა იქნას გამოყენებული ელექტროპოლირებული შიდა კედლით 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალნახშირბადიანი უჟანგავი ფოლადის მილი (316L) ან ელექტროპოლირებული შიდა კედლით OCr18Ni9 უჟანგავი ფოლადის მილი (304). სარქველი უნდა იყოს დიაფრაგმული ან ბურთულიანი.

(2) თუ გაზის სისუფთავე 99.99%-ზე მეტი ან ტოლია და ნამის წერტილი -60°C-ზე დაბალია, უნდა იქნას გამოყენებული ელექტროპოლირებული შიდა კედლით OCr18Ni9 უჟანგავი ფოლადის მილი (304). გარდა აალებადი გაზსადენებისთვის გამოსაყენებელი ბურთულიანი სარქველებისა, სხვა გაზსადენებისთვის უნდა იქნას გამოყენებული ბურთულიანი სარქველები.

(3) თუ მშრალი შეკუმშული ჰაერის ნამის წერტილი -70°C-ზე დაბალია, უნდა იქნას გამოყენებული გაპრიალებული შიდა კედლით OCr18Ni9 უჟანგავი ფოლადის მილი (304). თუ ნამის წერტილი -40°C-ზე დაბალია, უნდა იქნას გამოყენებული OCr18Ni9 უჟანგავი ფოლადის მილი (304) ან ცხელ-გალვანიზებული უნაკერო ფოლადის მილი. სარქველი უნდა იყოს ბურთულიანი ან სფერული სარქველი.

(4) სარქვლის მასალა თავსებადი უნდა იყოს შემაერთებელი მილის მასალასთან.

სპეციფიკაციებისა და შესაბამისი ტექნიკური ზომების მოთხოვნების შესაბამისად, მილსადენის მასალების შერჩევისას ძირითადად ვითვალისწინებთ შემდეგ ასპექტებს:

(1) მილების მასალების ჰაერგამტარობა მცირე უნდა იყოს. სხვადასხვა მასალისგან დამზადებულ მილებს განსხვავებული ჰაერგამტარობა აქვთ. თუ შეირჩევა უფრო მაღალი ჰაერგამტარობის მქონე მილები, დაბინძურების მოცილება შეუძლებელია. უჟანგავი ფოლადის და სპილენძის მილები უკეთესად აფერხებენ ატმოსფეროში ჟანგბადის შეღწევას და კოროზიას. თუმცა, რადგან უჟანგავი ფოლადის მილები ნაკლებად აქტიურია, ვიდრე სპილენძის მილები, სპილენძის მილები უფრო აქტიურია ატმოსფეროში არსებული ტენიანობის მათ შიდა ზედაპირებში შეღწევაში. ამიტომ, მაღალი სისუფთავის გაზსადენებისთვის მილების შერჩევისას, უჟანგავი ფოლადის მილები უნდა იყოს პირველი არჩევანი.

(2) მილის შიდა ზედაპირი ადსორბირებულია და გაზის ანალიზზე მცირე გავლენას ახდენს. უჟანგავი ფოლადის მილის დამუშავების შემდეგ, მის მეტალის ბადეში გარკვეული რაოდენობის გაზი შეინარჩუნება. როდესაც მაღალი სისუფთავის გაზი გადის, გაზის ეს ნაწილი ჰაერის ნაკადში შევა და დაბინძურებას გამოიწვევს. ამავდროულად, ადსორბციისა და ანალიზის გამო, მილის შიდა ზედაპირზე არსებული ლითონი ასევე წარმოქმნის გარკვეული რაოდენობის ფხვნილს, რაც მაღალი სისუფთავის გაზის დაბინძურებას იწვევს. 99.999%-ზე ან ppb დონეზე მეტი სისუფთავის მქონე მილსადენების სისტემებისთვის უნდა იქნას გამოყენებული 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალი ნახშირბადის შემცველობის უჟანგავი ფოლადის მილი (316L).

(3) უჟანგავი ფოლადის მილების ცვეთამედეგობა სპილენძის მილებთან შედარებით უკეთესია, ხოლო ჰაერის ნაკადის ეროზიით წარმოქმნილი ლითონის მტვერი შედარებით ნაკლებია. წარმოების სახელოსნოებს, რომლებსაც სისუფთავის მაღალი მოთხოვნები აქვთ, შეუძლიათ გამოიყენონ 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალი ნახშირბადის შემცველობის უჟანგავი ფოლადის მილები (316L) ან OCr18Ni9 უჟანგავი ფოლადის მილები (304), სპილენძის მილების გამოყენება არ შეიძლება.

(4) 99.999%-ზე მეტი გაზის სისუფთავის ან ppb ან ppt დონის მქონე მილსადენების სისტემებისთვის, ან „სუფთა ქარხნის დიზაინის კოდექსში“ მითითებული N1-N6 ჰაერის სისუფთავის დონის მქონე სუფთა ოთახებში, ულტრა სუფთა მილები ანEP ულტრა სუფთა მილებიუნდა იქნას გამოყენებული. გაწმინდეთ „ულტრაგლუვი შიდა ზედაპირის მქონე სუფთა მილი“.

(5) წარმოების პროცესში გამოყენებული ზოგიერთი სპეციალური გაზსადენის სისტემა ძლიერ კოროზიული აირებია. ამ მილსადენების სისტემებში მილებისთვის უნდა იქნას გამოყენებული კოროზიისადმი მდგრადი უჟანგავი ფოლადის მილები. წინააღმდეგ შემთხვევაში, მილები დაზიანდება კოროზიის გამო. თუ ზედაპირზე კოროზიის ლაქები წარმოიქმნება, არ უნდა იქნას გამოყენებული ჩვეულებრივი უნაკერო ფოლადის მილები ან გალვანიზებული შედუღებული ფოლადის მილები.

(6) პრინციპში, გაზსადენის ყველა შეერთება უნდა იყოს შედუღებული. რადგან გალვანიზებული ფოლადის მილების შედუღება გალვანიზებული ფენის გაფუჭებას გამოიწვევს, გალვანიზებული ფოლადის მილები სუფთა ოთახებში მილებისთვის არ გამოიყენება.

ზემოაღნიშნული ფაქტორების გათვალისწინებით, &7& პროექტში შერჩეული გაზსადენის მილები და სარქველები შემდეგია:

მაღალი სისუფთავის აზოტის (PN2) სისტემის მილები დამზადებულია ელექტროპოლირებული შიდა კედლებით დამზადებული 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალნახშირბადიანი უჟანგავი ფოლადის მილებისგან (316L), ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალისგან დამზადებული უჟანგავი ფოლადის ბუშტისებრი სარქველებისგან.
აზოტის (N2) სისტემის მილები დამზადებულია ელექტროპოლირებული შიდა კედლებით დამზადებული 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალნახშირბადიანი უჟანგავი ფოლადის მილებისგან (316L), ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალისგან დამზადებული უჟანგავი ფოლადის ბუშტისებრი სარქველებისგან.
მაღალი სისუფთავის წყალბადის (PH2) სისტემის მილები დამზადებულია ელექტროპოლირებული შიდა კედლებით დამზადებული 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალნახშირბადიანი უჟანგავი ფოლადის მილებისგან (316L), ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალისგან დამზადებული უჟანგავი ფოლადის ბუშტისებრი სარქველებისგან.
მაღალი სისუფთავის ჟანგბადის (PO2) სისტემის მილები დამზადებულია ელექტროგაპრიალებული შიდა კედლებით დამზადებული 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალნახშირბადიანი უჟანგავი ფოლადის მილებისგან (316L), ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალისგან დამზადებული უჟანგავი ფოლადის ბუშტისებრი სარქველებისგან.
არგონის (Ar) სისტემის მილები დამზადებულია ელექტროპოლირებული შიდა კედლებით 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალნახშირბადიანი უჟანგავი ფოლადის მილებისგან (316L) და გამოყენებულია იმავე მასალის უჟანგავი ფოლადის ბუშტისებრი სარქველები.
ჰელიუმის (He) სისტემის მილები დამზადებულია ელექტროპოლირებული შიდა კედლებით დამზადებული 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალნახშირბადიანი უჟანგავი ფოლადის მილებისგან (316L), ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალისგან დამზადებული უჟანგავი ფოლადის ბუშტისებრი სარქველებისგან.
სუფთა მშრალი შეკუმშული ჰაერის (CDA) სისტემის მილები დამზადებულია OCr18Ni9 უჟანგავი ფოლადის მილებისგან (304) გაპრიალებული შიდა კედლებით, ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალის უჟანგავი ფოლადის სარქველებისგან.
სუნთქვის შეკუმშული ჰაერის (BA) სისტემის მილები დამზადებულია OCr18Ni9 უჟანგავი ფოლადის მილებისგან (304) გაპრიალებული შიდა კედლებით, ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალის უჟანგავი ფოლადის ბურთულიანი სარქველებისგან.
პროცესის ვაკუუმური (PV) სისტემის მილები დამზადებულია UPVC მილებისგან, ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალისგან დამზადებული ვაკუუმური პეპლისებრი სარქველებისგან.
გამწმენდი ვაკუუმის (HV) სისტემის მილები დამზადებულია UPVC მილებისგან, ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალისგან დამზადებული ვაკუუმური პეპლისებრი სარქველებისგან.
სპეციალური გაზის სისტემის მილები დამზადებულია ელექტროპოლირებული შიდა კედლებით დამზადებული 00Cr17Ni12Mo2Ti დაბალნახშირბადიანი უჟანგავი ფოლადის მილებისგან (316L), ხოლო სარქველები დამზადებულია იმავე მასალისგან დამზადებული უჟანგავი ფოლადის ბუშტისებრი სარქველებისგან.

3 მილსადენების მშენებლობა და მონტაჟი
3.1 „სუფთა ქარხნული შენობის დიზაინის კოდექსის“ 8.3 მუხლი ითვალისწინებს მილსადენების შეერთებებთან დაკავშირებულ შემდეგ დებულებებს:
(1) მილების შეერთებები უნდა იყოს შედუღებული, მაგრამ ცხლად გალვანიზებული ფოლადის მილები უნდა იყოს ხრახნიანი. ხრახნიანი შეერთებების დალუქვის მასალა უნდა შეესაბამებოდეს ამ სპეციფიკაციის 8.3.3 მუხლის მოთხოვნებს.
(2) უჟანგავი ფოლადის მილები უნდა იყოს დაკავშირებული არგონის რკალური შედუღებით და კონდახით შედუღებით ან ბუდისებური შედუღებით, მაგრამ მაღალი სისუფთავის გაზსადენები უნდა იყოს დაკავშირებული კონდახით შედუღებით შიდა კედელზე ნიშნების გარეშე.
(3) მილსადენებსა და აღჭურვილობას შორის შეერთება უნდა შეესაბამებოდეს აღჭურვილობის შეერთების მოთხოვნებს. შლანგების შეერთების გამოყენებისას უნდა იქნას გამოყენებული ლითონის შლანგები.
(4) მილსადენებსა და სარქველებს შორის შეერთება უნდა შეესაბამებოდეს შემდეგ რეგულაციებს

① მაღალი სისუფთავის გაზსადენებისა და სარქველების დამაკავშირებელი დალუქვის მასალა უნდა იყოს დამზადებული ლითონის შუასადებებით ან ორმაგი ფერულებით, წარმოების პროცესის მოთხოვნებისა და გაზის მახასიათებლების შესაბამისად.
② ხრახნიანი ან ფლანგური შეერთების დალუქვის მასალა უნდა იყოს პოლიტეტრაფტორეთილენი.
3.2 სპეციფიკაციებისა და შესაბამისი ტექნიკური ზომების მოთხოვნების შესაბამისად, მაღალი სისუფთავის გაზსადენების შეერთება მაქსიმალურად უნდა იყოს შედუღებული. შედუღების დროს თავიდან უნდა იქნას აცილებული პირდაპირი კონდახით შედუღება. უნდა იქნას გამოყენებული მილის სახელოები ან დასრულებული შეერთებები. მილის სახელოები უნდა იყოს დამზადებული იმავე მასალისგან და შიდა ზედაპირი უნდა იყოს გლუვი, როგორც მილები. შედუღების დროს, შედუღების ნაწილის დაჟანგვის თავიდან ასაცილებლად, შედუღების მილში უნდა შეიყვანონ სუფთა დამცავი აირი. უჟანგავი ფოლადის მილებისთვის უნდა იქნას გამოყენებული არგონის რკალური შედუღება და მილში უნდა შეიყვანონ იგივე სისუფთავის არგონის გაზი. უნდა იქნას გამოყენებული ხრახნიანი ან ხრახნიანი შეერთება. ფლანგების შეერთებისას ხრახნიანი შეერთებებისთვის უნდა იქნას გამოყენებული ფერულები. ჟანგბადის და წყალბადის მილების გარდა, რომლებიც უნდა იყენებდნენ ლითონის შუასადებებს, სხვა მილებში უნდა იყენებდნენ პოლიტეტრაფტორეთილენის შუასადებებს. შუასადებებზე მცირე რაოდენობით სილიკონის რეზინის წასმა ასევე ეფექტური იქნება. გააძლიეროს დალუქვის ეფექტი. მსგავსი ზომები უნდა იქნას მიღებული ფლანგური შეერთებების განხორციელებისას.
სამონტაჟო სამუშაოების დაწყებამდე, მილების დეტალური ვიზუალური შემოწმება,ფიტინგები, სარქველები და ა.შ. უნდა განხორციელდეს. ჩვეულებრივი უჟანგავი ფოლადის მილების შიდა კედელი მონტაჟამდე უნდა იყოს დამწნილებული. ჟანგბადის მილსადენების მილები, ფიტინგები, სარქველები და ა.შ. მკაცრად უნდა იყოს აკრძალული ზეთის შეღწევადობისგან და მონტაჟამდე მკაცრად უნდა გაიწმინდოს ცხიმი შესაბამისი მოთხოვნების შესაბამისად.
სისტემის დამონტაჟებამდე და ექსპლუატაციაში გაშვებამდე, გადამცემი და გამანაწილებელი მილსადენების სისტემა სრულად უნდა გაიწმინდოს მიწოდებული მაღალი სისუფთავის გაზით. ეს არა მხოლოდ აშორებს სისტემაში შემთხვევით მოხვედრილ მტვრის ნაწილაკებს მონტაჟის პროცესში, არამედ ასრულებს მილსადენის სისტემის გაშრობის როლს, აშორებს მილის კედლისა და მილის მასალის მიერ შთანთქმული ტენიანობის შემცველი აირის ნაწილს.

4. მილსადენის წნევის ტესტირება და მიღება
(1) სისტემის დამონტაჟების შემდეგ, სპეციალურ გაზსადენებში მაღალი ტოქსიკურობის სითხეების გადამტანი მილების 100%-იანი რენტგენოგრაფიული შემოწმება უნდა ჩატარდეს და მათი ხარისხი არ უნდა იყოს II დონეზე დაბალი. სხვა მილები უნდა დაექვემდებაროს რენტგენოგრაფიულ შემოწმებას და სინჯის შემოწმების კოეფიციენტი არ უნდა იყოს 5%-ზე ნაკლები, ხარისხი არ უნდა იყოს III ხარისხზე დაბალი.
(2) არადესტრუქციული შემოწმების გავლის შემდეგ, უნდა ჩატარდეს წნევის ტესტი. მილსადენის სისტემის სიმშრალისა და სისუფთავის უზრუნველსაყოფად, ჰიდრავლიკური წნევის ტესტი არ უნდა ჩატარდეს, არამედ უნდა იქნას გამოყენებული პნევმატური წნევის ტესტი. ჰაერის წნევის ტესტი უნდა ჩატარდეს აზოტის ან შეკუმშული ჰაერის გამოყენებით, რომელიც შეესაბამება სუფთა ოთახის სისუფთავის დონეს. მილსადენის სატესტო წნევა უნდა იყოს საპროექტო წნევის 1.15-ჯერ მეტი, ხოლო ვაკუუმური მილსადენის სატესტო წნევა უნდა იყოს 0.2 მპა. ტესტის დროს წნევა თანდათან და ნელა უნდა გაიზარდოს. როდესაც წნევა სატესტო წნევის 50%-მდე გაიზრდება, თუ არ აღმოჩნდება რაიმე დარღვევა ან გაჟონვა, გააგრძელეთ წნევის თანდათანობით გაზრდა სატესტო წნევის 10%-ით და სტაბილიზაცია გაუკეთეთ წნევას თითოეულ დონეზე 3 წუთის განმავლობაში, სანამ სატესტო წნევა არ მიაღწევს. სტაბილიზაცია გაუკეთეთ წნევას 10 წუთის განმავლობაში, შემდეგ შეამცირეთ წნევა საპროექტო წნევამდე. წნევის შეჩერების დრო უნდა განისაზღვროს გაჟონვის გამოვლენის საჭიროებების შესაბამისად. ქაფიანი აგენტი კვალიფიცირდება, თუ გაჟონვა არ არის.
(3) ვაკუუმური სისტემის წნევის ტესტის გავლის შემდეგ, მან ასევე უნდა ჩაატაროს 24-საათიანი ვაკუუმის ხარისხის ტესტირება საპროექტო დოკუმენტების შესაბამისად და წნევის კოეფიციენტი არ უნდა იყოს 5%-ზე მეტი.
(4) გაჟონვის ტესტი. PPB და PPT კლასის მილსადენების სისტემებისთვის, შესაბამისი სპეციფიკაციების მიხედვით, გაჟონვა არ უნდა ჩაითვალოს დადასტურებულად, მაგრამ გაჟონვის რაოდენობის ტესტი გამოიყენება დიზაინის დროს, ანუ გაჟონვის რაოდენობის ტესტი ტარდება ჰერმეტულობის ტესტის შემდეგ. წნევა არის სამუშაო წნევა და წნევა წყდება 24 საათის განმავლობაში. საშუალო საათობრივი გაჟონვა ნაკლებია ან ტოლია 50 ppm-ის, როგორც დადასტურებული. გაჟონვის გამოთვლა შემდეგია:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
ფორმულაში:
საათში გაჟონვა (%)
P1 - ტესტის დასაწყისში აბსოლუტური წნევა (Pa)
P2 - ტესტის ბოლოს აბსოლუტური წნევა (Pa)
T1 - ტესტის დასაწყისში აბსოლუტური ტემპერატურა (K)
T2 - ტესტის ბოლოს აბსოლუტური ტემპერატურა (K)